Piston gauge with electronic balance for calibrations of very low pressures

Abstract

Abstract Kolbenmanometer sind sehr genaue Druckmessgeräte. In der herkömmlichen Bauform hält die vom Messdruck ausgeübte Kraft einen Kolben bzw. Zylinder im Schwebezustand. Infolge des Eigengewichts von Kolben bzw. Zylinder liegt der kleinste messbare Druck bei einigen kPa (einige 10 mbar). Die Firma DH Instruments Inc. hat ein neues Kolbenmanometer entwickelt, bei dem die vom Messdruck auf einen Kolben wirkende Kraft mittels einer Kraftmesszelle erfasst wird, wodurch der Messbereich zu kleinen Drücken hin wesentlich erweitert wird. Das neue Gerät bietet einen Messbereich von 1 Pa bis 15 kPa (0,01 mbar bis 150 mbar) bei Überdruck, Differenzdruck und Absolutdruck. Es wird eine Auflösung bis zu 1 mPa (10‐5 mbar) und eine Messunsicherheit von (5 mPa + 3·10‐5 p) erreicht. Die Kalibrierung des Geräts erfolgt durch Eichung der Kraftmesszelle und Bestimmung der wirksamen Fläche der Kolben‐Zylinder‐Anordnung. Das Gerät beinhaltet einen automatischen Druckregler. Die integrierte Software erlaubt, Kalibrierungen mit einer Vielzahl von Prüflingen durchzuführen. Als Anwendungsbeispiel des neuen Kolbenmanometers wird der automatische Test von kapazitiven Membranmanometern in verschiedenen Druckbereichen gezeigt.

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